第五届国际先进光刻技术研讨会在佛山举行

　　羊城晚报讯 记者杭莹、通讯员关瑶报道：“集成电路芯片是现代产业技术之基，而光刻是集成电路之基。”12月12日，在广东佛山召开的第五届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）上，大会主席、季华实验室理事长兼主任曹健林如是说。

　　本次会议共计持续2天，以线上线下互动方式展开。在此期间，来自尼康、暨南大学等公司机构和高校的特邀嘉宾分别就拟定的主题作特邀报告，深入分析光刻领域先进节点最新的技术手段和解决方案。

　　近年来，中国集成电路蓬勃发展，国际先进光刻技术研讨会也应运而生，此前已举办四届。IWAPS为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台。参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果，研讨即将面临的技术挑战。报告内容涉及广泛，涵盖了当前的技术现状、未来的发展趋势以及面临的挑战等。

　　大会主席、大联盟副理事长兼秘书长叶甜春在开幕式上表示，目前，我国已经成为全球集成电路产业发展的重要阵地，并且拥有全球最大的集成电路终端应用市场。曹健林表示，佛山拥有全国领先的家电产业集聚群，能够支撑集成电路的研发和制造，是集成电路产业的“大客户”。在集成电路制造的装备提供方面，佛山也有很大的发展空间。